热式质量流量计发展 ：
20世纪60年代，美国首先为宇航业所需气体质量控制开发出热式质量流量计正式产品，其后应用于半导体工业的制造设备上，得到很大发展，后又扩展到其他工业应用领域，近年来再工业应用上从测量气体扩大到测量液体。
由于气体热式质量流量计日趋成熟且应用面不断拓宽，国际标准化组织(1SO)已制定有关"规范、检验、安装、运行和校准"气体热式质量流量计的国际标准IS014511：2001。
热式质量流量计：利用流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。
基本原理：利用外热源对被测流体加热，测量因流体流动造成的温度场变化来反映质显流量。
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