VF10热式气体质量流量计传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，采用桥式环路，一个传感器测量流体温度，另一个传感器为加热元件，维持高于流体温度的恒温差，即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流量。
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